マーク自動検査は、液晶などの貼り合わせなどに必要なアライメントマーク、ガラスに印刷された各種マークなどの良否を自動判定します。2タイプのシステムがあります。
- 高詳細2次元CCDカメラ(140万画素以上)を使用した狭視野/高分解能タイプ
- 高詳細ラインセンサー(7500画素)を使用した広視野/高分解能/高速タイプ
また、ラインセンサータイプはさらに視野を広げる手段として、ラインセンサーを複数台同時処理を行うシステムの構築が可能です。
自動検査のメリット
検査基準の定量化が可能
回避することが難しい検査員毎の検査結果のバラツキを極力無くし、安定した検査が行えます。これにより、検査のバラツキを大幅に押さえることが可能となり、検査の安定化が望め、製造物の品質の安定化が行えます。
24時間365日対応
手動での検査では複数人で検査を行うか、抜き取りで検査を行うしかなかった工程でも、少ない人員でも全数の検査が可能となります。
完全自動化が可能
インラインで検査が可能となるため、製造工程の能力を最大限生かすことが可能です。
また、自動の仕分けも可能となります。
正確な計測が可能
目視で見にくい物(微小サイズのものなど)の計測・検査が正確に行えます。
検査結果DB(データベース)の構築が容易
検査結果は数値化されているため、蓄積することが可能です。 また、工場内CIM等との連携も可能となります。
2タイプのシステム
高詳細2次元CCDカメラを使用したマーク検査システム
- マークの水平/垂直の計測が対象物の動きに影響される*1ことなく正確に行えます。
- 検査マーク数が少ない場合には、速い速度で移動する対象物の検査も行えます。*2
- 微小なマーク(数十ミクロン)の検査も可能です。
- 移動した状態でも可。但し、移動速度には限界があります。対象物の測定
可能な移動速度は、サイズと分解能(視野)、処理速度で決まります。 - 移動装置の速度精度及び対象マークの大きさに依存します。
高詳細ラインセンサーカメラを使用したマーク検査システム
最大12000ピクセルの解像度を利用して、広視野の検査が可能です。広視野でかつ高分解能を実現できます。
【例】分解能を10umとすると単純に7500倍で75mmの視野を確保可能。高詳細2次元140万画素カメラの場合は、分解能10umとすると長辺はせいぜい 1400画素なので1360倍となり、13.6mmの視野しか取れない。75mmとるには6台ものカメラが必要となります。
- ラインセンサーの場合、光源の設計が比較的容易*3です。また設置もしやすいです。
- 対象物の移動速度が一定でないと流れ方向の精度が出ません。また、幅(スキャン方向)のブレも極力少なくする必要があります。
- 当社オリジナルのラインセンサー調整ソフトにより、ラインセンサーからの映像信号がパソコンの画面上にリアルタイムに表示することが出来ます。*4これにより、カメラの調整作業*5が飛躍的に向上します。
- 2次元カメラ用光源(面光源)と比べて。
- 2次元波形のリアルタイム表示。
- 明るさ、フォーカス、位置調整。
実績例
高詳細2次元CCDカメラを使用したマーク検査システム
- 分解能:3.5um
- 視野:4.4mm(h)×3.3mm(V)
- 誤差:±7.5um
- 最小計測サイズ:20um以上
- 対象物:液晶関連部材
- マーク形状例(右図。代表例)
高詳細ラインセンサーカメラを使用したマーク検査システム
- 分解能:50um
- 視野:375mm(h)×50um(V)
- 最小計測サイズ:150um以上
- 対象物:ガラスほか
- マーク形状例(右図。代表例)
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