マーク自動検査

2タイプのシステムで正確な計測·検査を実現

ソリューション概要

マーク自動検査は、液晶などの貼り合わせなどに必要なアライメントマーク、ガラスに印刷された各種マークなどの良否を自動判定します。
2タイプのシステムがあります。

導入メリット

仕様・スペック

カメラ

分解能 3.5µm
視野 4.4mm(h)×3.3mm(v)
誤差 ±7.5µm
最小計測サイズ 20µm以上
対象物 液晶関連部材

ラインセンサカメラ

分解能 50µm
視野 375mm(h)×50µm(v)
最小計測サイズ 150µm以上
対象物 ガラス他